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专利详情
限位装置及限位系统
申请号：
CN201810909764.0
申请公布号：
CN110814785A
申请日：
2018-08-10
申请公布日：
2020-02-21
申请（专利权）人：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司
分类号：
B23Q1/26(20060101)
专利介绍
本发明提供了一种限位装置及限位系统,包括:与运动台的动子或定子固定连接的限位框,与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆,所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内,所述缓冲件与限位框之间留有间隙,以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器,所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触;限位装置系统,包括多个限位装置。在本发明提供的限位装置及限位系统中,能有效减小运动台边界的极限偏移量;且能避免运动台在极限位置时电机仍在发力,造成结构损坏或电机烧毁。
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